சர்ப்-கால், துகள் அளவு தரநிலைகள், 50ml தொகுதி, 1x10E10 செறிவுக்கு முன் கலப்பு / மிலி

SURF-CAL பிஎஸ்எல் கோளங்கள் ஒரு எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்எம்எல் பாட்டில் முன் கலப்பு பிஎஸ்எல் கோளங்களை வழங்குவதன் மூலம் உங்கள் வசதியில் அளவுத்திருத்த செதில்களைத் தயாரிக்கும் வேலையை எளிதாக்குகிறது. துகள் அளவுகள் கருவி உற்பத்தியாளர்களுக்குத் தேவையான அளவுத்திருத்த புள்ளி அளவுகளுடன் ஒத்திருக்கும். துகள் செறிவுகள் ஒரு எம்.எல் க்கு 50 x 1 e10 துகள்கள். செமி தயாரிப்பாளர்கள் ஸ்கேனிங் மேற்பரப்பு ஆய்வு முறைகளை அளவீடு செய்யும் போது குறிப்பிட்ட துகள் அளவுகளைப் பயன்படுத்த வேண்டும் என்று கோரியுள்ளனர், இது செதில் ஆய்வு கருவிகளுக்கும் குறிப்பிடப்படுகிறது. கருவி உற்பத்தியாளர்களுடன் பணிபுரிதல் SURF-CAL PSL கோளங்கள் SEMI தரநிலை M10 (52) மற்றும் M3 வழிகாட்டுதல்களை பூர்த்தி செய்கின்றன. கிடைக்கக்கூடிய அளவுகள் குறைக்கடத்திகள், ஐடிஆர்எஸ் (எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்) க்கான சர்வதேச தொழில்நுட்ப சாலை வரைபடத்தால் வரையறுக்கப்பட்டுள்ள முக்கியமான அளவு முனைகளாகும்.

வெற்று சிலிக்கான் மற்றும் பேட்டர்ன் செதில்களில் SURF-CAL, NIST டிரேசபிள் பிஎஸ்எல் (பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ்) கோளங்களை வைப்பதன் மூலம், உங்கள் KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS கருவிகளில் அவ்வப்போது அளவு அளவுத்திருத்தச் சரிபார்ப்புகளைச் செய்யலாம் மற்றும் ஸ்கேனர்களில் உங்கள் செதில் ஆய்வு ஸ்கேனரை ஒப்பிடலாம். மற்ற இடங்கள். உற்பத்தி செயல்முறையின் முக்கியமான கட்டங்களில் உங்கள் SSIS இன் செயல்திறனையும் நீங்கள் மதிப்பிடலாம். அனைத்து தயாரிப்புகளும் 50 மில்லி பாட்டில்களில் டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட, வடிகட்டிய நீரில் (DI வாட்டர்) ஒரு மில்லிக்கு 3 x10e10 துகள்கள் என்ற செறிவில் இடைநிறுத்தப்படுகின்றன. இந்த பிஎஸ்எல் கோளங்கள் டிஃபெரன்ஷியல் மொபிலிட்டி அனலைசர் (டிஎம்ஏ) அல்லது பிற அளவு விலக்கு நுட்பங்களால் அளவிடப்படுகின்றன.