Applied Physics மாநகராட்சி

சர்ஃப்-கால், துகள் அளவு தரநிலைகள், 50மிலி அளவு, 1x10E8 மற்றும் 1x10E10 செறிவு / மிலிக்கு முன் கலந்தது

அளவு

கப்பல் புதுப்பித்து கணக்கிடப்படுகிறது.

விளக்கம்

SURF-CAL™ துகள் அளவு தரநிலைகள் அளவு அளவுத்திருத்தம் மற்றும் ஸ்கேனிங் சர்ஃபேஸ் இன்ஸ்பெக்ஷன் சிஸ்டம்ஸ் (SSIS) கண்காணிப்பில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கீழே உள்ள துகள் அளவுகள் கருவி உற்பத்தியாளர்களால் தேவைப்படும் அளவுத்திருத்த துகள் அளவுகளுடன் ஒத்திருக்கும். உங்கள் செதில் ஆய்வு ஸ்கேனர் மற்ற இடங்களில் உள்ள ஸ்கேனர்களுடன் ஒப்பிடுவதை உறுதிசெய்ய, அவ்வப்போது அளவுத்திருத்த சோதனைகள் மற்றும் வாராந்திர அளவு மற்றும் எண்ணிக்கை கண்காணிப்பை நீங்கள் முடிக்க வேண்டும். அனைத்து பாலிஸ்டிரீன் மைக்ரோஸ்பியர்களும் 50மிலி பாட்டில் அளவு 3 × 10 E8 அல்லது 1 × 10 E10 துகள்கள் ஒரு mL இல் டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட, வடிகட்டிய நீரில் இடைநிறுத்தப்படுகின்றன. * உடன் குறிப்பிடப்பட்ட அளவுகள் அந்த விட்டத்தில் உள்ள NIST SRM துகள்களைப் போலவே இருக்கும். கீழே உள்ள அனைத்து பாலிஸ்டிரீன் மைக்ரோஸ்பியர்களுக்கும் ஒளிவிலகல் குறியீடு 1.59 @ 589nm (25C) ஆகும். ஒவ்வொரு பாட்டிலும் 12 மாதங்களுக்கு நிலையாக இருக்கும் மற்றும் NIST க்கு அளவுத்திருத்தம் மற்றும் கண்டறியக்கூடிய சான்றிதழுடன் தொகுக்கப்பட்டுள்ளது.

வெற்று சிலிக்கான் மற்றும் பேட்டர்ன் செதில்களில் SURF-CAL, NIST கண்டறியக்கூடிய PSL (பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ்) கோளங்களை வைப்பதன் மூலம், உங்கள் KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS கருவிகளில் அவ்வப்போது அளவு அளவுத்திருத்தச் சோதனைகளைச் செய்யலாம் மற்றும் ஸ்கேனர்களில் உங்கள் செதில் ஆய்வு ஸ்கேனரை ஒப்பிடலாம். மற்ற இடங்கள். உற்பத்தி செயல்முறையின் முக்கியமான கட்டங்களில் உங்கள் SSIS இன் செயல்திறனையும் நீங்கள் மதிப்பிடலாம். அனைத்து தயாரிப்புகளும் 50 x3 e10 துகள்கள்/mL அல்லது 10 x1 e10 துகள்கள்/mL என்ற செறிவில் 10 மில்லி பாட்டில்களில் டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட, வடிகட்டிய நீரில் (DI வாட்டர்) இடைநிறுத்தப்படுகின்றன. இந்த சர்ஃப்-கால் துகள் அளவு தரநிலைகள் பாலிஸ்டிரீன் மைக்ரோஸ்பியர்ஸ் ஆகும், அவை டிஃபெரன்ஷியல் மொபிலிட்டி அனலைசர் (டிஎம்ஏ) அல்லது பிற அளவு விலக்கு நுட்பங்களால் அளவிடப்படுகின்றன.

பாகம் எண்	செறிவு எண்ணிக்கை/மிலி	துகள் விட்டம்	அளவு விநியோகம்	50 மில்லி பாட்டிலின் விலை
APPD-047	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	0.047 μm	0.004μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
APPD-047B	1 x 10¹⁰துகள்கள்/மி.லி	0.047 μm	0.004μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
APPD-064	1 x 10¹⁰ துகள்கள்/மி.லி	0.064 μm	0.003μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
APPD-064B	1 x 10¹⁰ துகள்கள்/மி.லி	0.064 μm	0.003μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
APPD-083	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	0.083 μm	0.004μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-083B	1 x 10¹⁰ துகள்கள்/மி.லி	0.083 μm	0.004μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-092	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	0.092 μm	0.004μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-092B	1 x 10¹⁰துகள்கள்/மி.லி	0.092 μm	0.004μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-100	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	0.100 μm	0.003μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-100B	1 x 10¹⁰ துகள்கள்/மி.லி	0.100 μm	0.003μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-125	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	0.126 μm	0.003μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-125B	1 x 10¹⁰ துகள்கள்/மி.லி	0.126 μm	0.003μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-155	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	0.155 μm	0.003μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-155B	1 x 10¹⁰துகள்கள்/மி.லி	0.155 μm	0.003μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-200	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	0.202 μm	0.004μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-200B	1 x 10¹⁰ துகள்கள்/மி.லி	0.202 μm	0.004μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-204	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	0.204 μm	0.004μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-204B	1 x 10¹⁰ துகள்கள்/மி.லி	0.204 μm	0.004μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-215	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	0.220 μm	0.003μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-215B	1 x 10¹⁰துகள்கள்/மி.லி	0.220 μm	0.003μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-305	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	0.304 μm	0.004μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-305B	1 x 10¹⁰ துகள்கள்/மி.லி	0.304 μm	0.004μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-365	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	0.360 μm	0.005μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-365B	1 x 10¹⁰ துகள்கள்/மி.லி	0.360 μm	0.005μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-500	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	0.498 μm	0.006μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-500B	1 x 10¹⁰துகள்கள்/மி.லி	0.498 μm	0.006μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-809	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	0.809 μm	0.006μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-809B	1 x 10¹⁰ துகள்கள்/மி.லி	0.809 μm	0.006μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-802	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	0.802 μm	0.009μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD-802B	1 x 10¹⁰ துகள்கள்/மி.லி	0.802 μm	0.009μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD1100	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	1.112 μm	0.011μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD1100B	1 x 10¹⁰ துகள்கள்/மி.லி	1.112 μm	0.011μm	$ 1495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD1600	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	1.59 μm	0.016μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD2000	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	2.01 μm	0.019μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்
AP PD3000	3 x 10⁸ துகள்கள்/மி.லி	3.04 μm	0.026μm	$ 495.00 மேற்கோளைக் கோருங்கள் அல்லது ஆர்டரில் சேர்க்கவும்

அளவீட்டு முறை:

என்ஐஎஸ்டி ட்ரேஸ்பிலிட்டியை உறுதிப்படுத்த, இந்தத் தயாரிப்புகளின் சான்றளிக்கப்பட்ட விட்டம் என்ஐஎஸ்டி நிலையான குறிப்புப் பொருட்களிலிருந்து டிரான்ஸ்மிஷன் எலக்ட்ரான் அல்லது ஆப்டிகல் மைக்ரோஸ்கோபி மூலம் மாற்றப்பட்டது (2). NIST தொழில்நுட்ப குறிப்பு 1297, 1994 பதிப்பு "NIST அளவீட்டு முடிவுகளின் நிச்சயமற்ற தன்மையை மதிப்பிடுவதற்கும் வெளிப்படுத்துவதற்கும் வழிகாட்டுதல்கள்" (4) ஐப் பயன்படுத்தி நிச்சயமற்ற தன்மை கணக்கிடப்பட்டது. பட்டியலிடப்பட்ட நிச்சயமற்ற தன்மை இரண்டு (K=2) கவரேஜ் காரணி கொண்ட விரிவாக்கப்பட்ட நிச்சயமற்ற தன்மை ஆகும். துகள் அளவு விநியோகத்தின் தோராயமாக ± 2s வரம்பைப் பயன்படுத்தி உச்ச விட்டம் கணக்கிடப்பட்டது. அளவு விநியோகம் முழு உச்சத்தின் நிலையான விலகலாக (SDS) கணக்கிடப்பட்டது. மாறுபாட்டின் குணகம் (CV) என்பது உச்ச விட்டத்தின் சதவீதமாக வெளிப்படுத்தப்படும் ஒரு நிலையான விலகலாகும். FWHM (அதிகபட்சம் பாதியில் முழு அகலம்) விநியோகம் உச்ச விட்டத்தின் சதவீதமாக வெளிப்படுத்தப்படும் உச்ச உயரத்தின் பாதியில் விநியோகமாக கணக்கிடப்பட்டது.

1. "தி நேஷனல் டெக்னாலஜி ரோட்மேப் ஃபார் செமிகண்டக்டர்ஸ்", செமிகண்டக்டர் இண்டஸ்ட்ரி அசோசியேஷன் (1999)

2. எஸ்டி டியூக் மற்றும் ஈபி லேயென்டெக்கர், "எலக்ட்ரான் மைக்ரோஸ்கோபி மூலம் சப்-மைக்ரான் கோளத் துகள்களின் அளவு அளவுத்திருத்தத்திற்கான உள் தரநிலை முறை", ஃபைன் பார்ட்டிகல் சொசைட்டி (1988)

3. SEMI M52 - சிலிக்கான் வேஃபர்களுக்கான மேற்பரப்பு ஆய்வு அமைப்புகளைக் குறிப்பிடுவதற்கான வழிகாட்டி 130 nm தொழில்நுட்ப தலைமுறை.

4. பேரி என். டெய்லர் மற்றும் கிறிஸ் ஈ. குயாட், "என்ஐஎஸ்டி அளவீட்டு முடிவுகளின் நிச்சயமற்ற தன்மையை மதிப்பிடுவதற்கும் வெளிப்படுத்துவதற்கும் வழிகாட்டுதல்கள்". NIST தொழில்நுட்ப குறிப்பு 1297, 1994 பதிப்பு, செப்டம்பர் 1994.

சர்ஃப்-கால், துகள் அளவு தரநிலைகள், 50மிலி அளவு, 1x10E8 மற்றும் 1x10E10 செறிவு / மிலிக்கு முன் கலந்தது