Applied Physics அமெரிக்கா

பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ் மணிகள், துகள் அளவு தரநிலைகள்
Applied Physics அமெரிக்கா: PSL கோளங்கள், பாலிஸ்டிரீன் மைக்ரோ-ஸ்பியர்ஸ், துகள் அளவு தரநிலைகள்

Applied Physics ஏரோசல் கருவி அளவுத்திருத்தத்திற்கான துகள் அளவு தரங்களாக PSL கோளங்கள் மற்றும் பாலிஸ்டிரீன் மணிகளை அமெரிக்கா வழங்குகிறது. KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE மற்றும் Hitachi போன்ற வேஃபர் ஆய்வுக் கருவிகளுக்கும் அளவு அளவுத்திருத்தம் தேவைப்படுகிறது, இது பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ் கோளங்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் நிறைவேற்றப்படுகிறது. PSL கோளங்கள், பாலிஸ்டிரீன் மைக்ரோஸ்பியர்ஸ் மற்றும் மணிகள், 20 nm முதல் 10 மைக்ரான் வரையிலான அளவுகளில் அந்தந்த செதில் ஆய்வு அமைப்புகள் மற்றும் லேசர் துகள் கவுண்டர்களின் அளவு மறுமொழி வளைவுகளை அளவீடு செய்ய வழங்கப்படுகின்றன. 20 nm முதல் 5 மைக்ரான் வரையிலான PSL கோளங்கள் பொதுவாக லேசர் துகள் கவுண்டர்களின் அளவு பதிலை அளவீடு செய்ய பயன்படுத்தப்படுகின்றன. பாலிஸ்டிரீன் மைக்ரோஸ்பியர்ஸ் அளவுத்திருத்த வேஃபர் தரநிலைகள் மற்றும் துகள் வேஃபர் தரநிலைகளை உருவாக்கப் பயன்படுகிறது, அவை KLA-Tencor Surfscan கருவிகள் மற்றும் பழைய Tencor Surfscan கருவிகளின் அளவு பதிலை அளவீடு செய்யப் பயன்படுகின்றன.

 

Applied Physics அமெரிக்கா

பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ் மணிகளை அழைப்பதன் மூலம் ஆர்டர் செய்யலாம் Applied Physics (719) 428-4042.

ஸ்கேனிங் சர்ஃபேஸ் இன்ஸ்பெக்ஷன் சிஸ்டம்ஸ், எஸ்எஸ்ஐஎஸ் என குறிப்பிடப்படும் வேஃபர் இன்ஸ்பெக்ஷன் சிஸ்டம்ஸ், குறிப்பாக கேஎல்ஏ-டென்கோர் மற்றும் ஹிட்டாச்சியில் இருந்து, பிஎஸ்எல் வேஃபர் தரநிலைகளைப் பயன்படுத்தி அளவீடு செய்யப்படுகிறது, அவை குறிப்பிட்ட அளவுகள் மற்றும் குறுகிய அளவிலான விநியோகத்தில் பிஎஸ்எல் கோளங்களுடன் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட பிரைம் சிலிக்கான் செதில்களாகும். செதில் ஆய்வு கருவிகள் 300 மிமீ, 200 மிமீ, 150 மிமீ செதில் மேற்பரப்புகளின் தூய்மையை ஆய்வு செய்ய பயன்படுத்தப்படுகின்றன; வெற்று சிலிக்கான் அல்லது படம் டெபாசிட், செதில் மேற்பரப்பு. SSIS ஆனது PSL கோளங்கள் மற்றும் துகள்களின் X/Y இருப்பிடத்தை அடையாளம் காண முடியும், ஒவ்வொரு குறைபாட்டின் அளவையும் விவரிக்கிறது மற்றும் செதில் மேற்பரப்பில் ஒட்டுமொத்த துகள் எண்ணிக்கையை சுருக்கமாகக் கூறுகிறது. டென்கோர் 6200, 6420 மற்றும் KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 மற்றும் KLA-Tencor SP3 போன்ற KLA-Tencor வேஃபர் ஆய்வு அமைப்புகள், இந்த பயன்பாட்டிற்காக குறைக்கடத்தி தொழில் முழுவதும் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. டாப்கான் 3000, 5000 மற்றும் 7000 தொடர் வேஃபர் ஆய்வு அமைப்புகளைக் கொண்டுள்ளது. Estek, ADE, Aeronca மற்றும் Hitachi ஆகியவை பல்வேறு செதில் ஆய்வு அமைப்புகளையும் வழங்குகின்றன. இன்று உற்பத்தி செய்யப்படும் ஒவ்வொரு SSISம் இப்போது 30 nm துகள் அளவு உணர்திறன் அல்லது சிறந்ததாக கண்டறிய முடியும். பிஎஸ்எல் கோளங்கள் செதில் மேற்பரப்பில் துகள் அளவு தரநிலைகளை பிரதிநிதித்துவப்படுத்த பயன்படுத்தப்படுகின்றன. Applied Physics அளவு அளவுத்திருத்தம், HEPA வடிகட்டி சோதனைகள் போன்றவற்றிற்காக 20 nm முதல் 160 மைக்ரான் வரை PSL கோள அளவுகளை வழங்குகிறது. PSL கோளங்களை அழைப்பதன் மூலம் ஆர்டர் செய்யலாம் Applied Physics (719) 428-4042.

பி.எஸ்.எல் வேஃபர் டெபாசிட் சிஸ்டங்களுடன் பி.எஸ்.எல் கோளங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இது பி.எஸ்.எல் வேஃபர் தரநிலைகளை உருவாக்குகிறது, இது துகள் வேஃபர் தரநிலைகள் என்றும் குறிப்பிடப்படுகிறது. இரண்டிலும், பி.எஸ்.எல் வேஃபர் ஸ்டாண்டர்ட் தயாரிக்கப்பட்ட பிறகு, அது ஒரு செதில் ஆய்வு அமைப்பில் வைக்கப்பட்டு ஒற்றை லேசர் எஸ்.எஸ்.ஐ.எஸ் அல்லது இரட்டை லேசர் எஸ்.எஸ்.ஐ.எஸ் மூலம் ஸ்கேன் செய்யப்படுகிறது. உண்மையான பிஎஸ்எல் அளவு பதில் எஸ்எஸ்ஐஎஸ் அளவு பதிலுடன் ஒப்பிடப்படுகிறது. இரண்டு சிகரங்களும் பொருந்தவில்லை என்றால், எஸ்.எஸ்.ஐ.எஸ் அளவீடு செய்யப்பட வேண்டும். முன்-கலப்பு, அதிக செறிவுள்ள பி.எஸ்.எல் கோளங்கள் 2300XP1 அமைப்புகள், 2300 NPT-1 அமைப்புகள், 2300NPT-2 மற்றும் M2300G3 செதில் படிவு அமைப்புகளுக்கானவை.

பி.எஸ்.எல் கோளங்கள், 1% செறிவு.

முன் கலந்த பிஎஸ்எல் கோளங்கள் ஒரு எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்எம்எல் பாட்டில் வந்து, மோனோ-சிதறல் அளவு (எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ் அளவு விநியோகம்), மற்றும் அவை எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்என்எம் முதல் எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்என்எம் அளவு வரை வழங்கப்படுகின்றன. இந்த பி.எஸ்.எல் தீர்வு நேரடியாக நெபுலைசர் அல்லது அணுக்கருவி பாத்திரத்தில் ஊற்றப்படுகிறது. பாலிஸ்டிரீன் லேடக்ஸ் மணிகளை வாங்குவதற்கான ஒரு வசதியான வழி முன் கலப்பு ஆகும், ஏனெனில் அனைத்து நீர்த்தங்களும் மிகவும் சீரான முறையில் நிறைவேற்றப்பட்டுள்ளன, எந்தவிதமான சலசலப்பும் இல்லை, வம்புகளும் இல்லை, பாலிஸ்டிரீன் லேடக்ஸ் மணிகளை பீக்கர்களைப் பயன்படுத்தி கலக்க வேண்டாம் என்று பயனரை அனுமதிக்கிறது, DI நீர் மற்றும் மீயொலி தட்டுக்கள். கலக்காத பிஎஸ்எல் பொருள் ஒரு எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்எம்எல் பாட்டில் வழங்கப்படுகிறது, மோனோ-சிதறல் அளவு (எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ் அளவு விநியோகம்) மற்றும் பொதுவாக எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்% செறிவில் வழங்கப்படுகிறது. இந்த பி.எஸ்.எல் கோளங்கள் பரந்த அளவிலான அளவுகளில் வழங்கப்படுகின்றன, ஆனால் எங்கள் நோக்கங்களுக்காக, 50nm முதல் 1um வரை அளவு. பி.எஸ்.எல் பொருள் சரியான நீர்த்தலுடன் கலக்கப்பட வேண்டும் அல்லது மேலே உள்ள பி.எஸ்.எல் வேஃபர் டெபாசிட் சிஸ்டங்களில் ஒன்றின் மூலம் டெபாசிட் செய்ய முயற்சிக்கும்போது பயனுள்ள முடிவுகளை வழங்க இது செறிவூட்டப்பட்டதாகவோ அல்லது பலவீனமாகவோ இருக்கும். CleanRoom Foggers இணைப்பு

மொழிபெயர் "