துகள் படிவு அமைப்புகள், பி.எஸ்.எல் படிவு அமைப்புகள்

 

மாதிரி 2300 NPT-2 துகள் படிவு அமைப்புமாதிரி 2300 NPT-2 -
ஒரு மேற்கோள் கேட்டு

2300 NPT-2 ஒரு FOUP அடிப்படையிலான, இரட்டை நிலை தானியங்கி செதில் கையாளுதல் முறையை ஒருங்கிணைக்கிறது, மேலும் இரு நிலைகளிலும் 300 மிமீ செயல்பாட்டிற்காக அல்லது ஒரு கட்டத்தில் 200 மிமீ பிரிட்ஜ் பயன்பாடுகளுக்கும் 300 வது கட்டத்தில் 2 மிமீ செயல்பாடுகளுக்கும் அமைக்கப்படலாம். ஆட்டோமேஷன் சிஸ்டத்துடன் விளிம்பில் பிடியால் வேஃபர் தொடர்பு கையாளப்படுகிறது. 50 வெவ்வேறு அளவு மூல பாட்டில்களிலிருந்து 10 ஸ்பாட் டெபாசிட்கள், முழு டெபாசிட்கள் அல்லது மோதிர வைப்புக்கள் டெபாசிட் செய்யலாம். 2300 என்.பி.டி -2 பி.எஸ்.எல் கோளங்களையும், சிலிக்கான் நைட்ரைடு, சிலிக்கான் ஆக்சைடு, டைட்டானியம் ஆக்சைடு, டங்ஸ்டன் போன்ற பல்வேறு செயல்முறை துகள்களையும் கையாள முடியும்; காப்பர் மற்றும் டான்டலம் உலோகங்கள்.

NPT-2 துகள் செறிவை கண்காணிக்கும், ஈவில் தீர்வுகளை கலப்பதால் NPT-2 க்கு தீர்வுகளை கலக்க ஆபரேட்டர் தேவையில்லை. புதிய தீர்வுகள் தேவைப்படும்போது, ​​12 துகள் மூலங்கள் பிளக் மற்றும் பிளே ஆகும். NPT-2 மெட்ரோலஜி அளவு மறுமொழி அளவுத்திருத்தத்தை ஆதரிப்பதற்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது, அத்துடன் உங்கள் WET தூய்மையான நிலையங்களின் துப்புரவு செயல்திறனை சவால் செய்ய துகள் செதில்களின் தரங்களை உருவாக்குகிறது, மேலும் ஏற்றுக்கொள்ள முடியாத துகள் கொண்ட செயல்முறைகளுக்கு ஆதரவாக உங்கள் WET பெஞ்சின் துப்புரவு திறனை மேம்படுத்துகிறது. விளைச்சல். NPT-2 ஒரு வலுவான ROI ஐ வழங்கும் திறன் கொண்டது, இதனால் குறுகிய காலத்தில் தன்னைத்தானே செலுத்துகிறது.

  • 20nm முதல் 1um PSL மற்றும் துகள் செதில் படிவு (22.37nm படிவுக்குக் கீழே உள்ள படத்தைப் பார்க்கவும்)
  • விருப்பமான 2nd ஆண்டு உத்தரவாதம், தடுப்பு பராமரிப்பு திட்டங்கள்

துகள் படிவு

விவரங்கள் - ஒரு மேற்கோள் கேட்டு

இந்த துகள் படிவு அமைப்புகள் கே.எல்.ஏ-டென்கோர், அப்ளைடு மெட்டீரியல்ஸ், டாப்கான், ஹிட்டாச்சி மற்றும் ஏ.டி.இ வேஃபர் ஆய்வு அமைப்புகளை அளவீடு செய்ய மிகவும் துல்லியமான பி.எஸ்.எல் வேஃபர் தரநிலைகளை உருவாக்குவதற்கான மிக முன்னேறிய துகள் அணுக்கருவாக்கம், மின்னியல் வகைப்பாடு மற்றும் படிதல் தொழில்நுட்பத்தைக் கொண்டுள்ளது.
WET சுத்தமான பெஞ்சுகளின் துப்புரவு செயல்திறனை சவால் செய்ய WET பெஞ்ச் துகள் தரநிலைகளை உருவாக்க அவர்கள் செயல்முறை துகள்களை செதில்களில் வைக்கலாம்.

3.0% முதல் 10% வரை சுத்தம் செய்யும் திறன் மேம்பாடுகள் ஒரு மேம்பட்ட ROI ஐ உருவாக்கும் இந்த மேம்பட்ட துகள் படிவு கருவிகளைக் கொண்டு அமைப்புகளை சுத்தம் செய்வதற்கு அடையக்கூடியவை. SiO2, Al2O3, TiO2, Si3N4, Si, Ti, W, Ta, Cu போன்றவற்றின் சீரான அளவிலான செயல்முறை துகள்கள் செதில் ஒட்டுதலில் துகள்களை வழங்குவதற்காக செதில்களில் டெபாசிட் செய்யலாம், எனவே செதில்களை சுத்தம் செய்யும் கருவிகளை யதார்த்தமாக மதிப்பீடு செய்யலாம்.

2300 NPT-2 ஆனது 200mm பாலம் தேவைகள் மற்றும் 300mm FOUP தேவைகளுக்கு ஆதரவாக முழுமையான தானியங்கி செயல்பாட்டைக் கொண்டுள்ளது. NPT-2 என்பது வேஃபர் ஆய்வு அமைப்புகளின் அளவியல் அளவு மறுமொழி அளவுத்திருத்தத்தை ஆதரிக்க வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது; அத்துடன் வெட் பெஞ்ச் பயன்பாடுகள் ஹேண்ட்ஸ்-ஆஃப், முழு தானியங்கி செயல்பாட்டுடன்.

2300 NPT-2 அம்சங்கள் & பயன்பாடுகள் - ஒரு மேற்கோள் கேட்டு

  • உயர் தெளிவுத்திறன், என்ஐஎஸ்டி (தேசிய தரநிலைகள் மற்றும் தொழில்நுட்ப நிறுவனம்) கண்டறியக்கூடிய டிஎம்ஏ அளவிடுதல் மற்றும் வகைப்பாடு பிஎஸ்எல் அளவு துல்லியம் மற்றும் அளவு விநியோக அகலத்திற்கான புதிய செமி தரநிலைகள் M52, M53 மற்றும் M58 நெறிமுறையை மீறுகின்றன.
  • NIST 60.4nm SRM ஐப் பயன்படுத்தி தானியங்கி அளவு அளவுத்திருத்தம், அத்துடன் 100.8nm, 269nm மற்றும் 895nm NIST SRM கள்
  • NPT, நானோ துகள் அளவுத்திருத்தம் பின்னணி மூடுபனி துகள்களை நீக்குகிறது, இது குறிப்பிடத்தக்க அளவு மாற்றத்தை ஏற்படுத்துகிறது பாரம்பரிய டிஎம்ஏ அடிப்படையிலான பிஎஸ்எல் படிவு. இந்த புதிய திறனை, TRUE SIZE CALIBRATION ஐ அதன் வாடிக்கையாளர் தளத்திற்கு வழங்கும் ஒரே நிறுவனம் MSP ஆகும்
  • மேம்பட்ட கணினி நிலைத்தன்மை மற்றும் அளவீட்டு துல்லியத்திற்கான தானியங்கி வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தம் இழப்பீட்டைக் கொண்ட மேம்பட்ட வேறுபாடு மொபிலிட்டி அனலைசர் (டிஎம்ஏ) தொழில்நுட்பம்.
  • பராமரிப்பு தேவை என்பதை ஆபரேட்டருக்கு நினைவூட்டுவதற்காக காலண்டர் பி.எம் பிளாட்-பேனல் டிஸ்ப்ளே (எஃப்.பி.டி) க்கு எச்சரிக்கைகள்.
  • பயனர் நட்பு செய்முறை கட்டுப்படுத்தப்பட்ட மென்பொருள்
  • தானியங்கி படிவு செயல்முறை ஒன்று அல்லது முழு செதில்களின் செதில்களில் பல படிவுகளை வழங்குகிறது, அதைத் தொடர்ந்து சுய சுத்தம் மற்றும் சுத்திகரிப்பு.
  • தானியங்கி முனை பொருத்துதல் மற்றும் செதில் சுழற்சி பலவிதமான படிவு வடிவங்களை உருவாக்க அனுமதிக்கிறது: பல இடங்கள், வளைய வடிவ, முழு-செதில் படிவு மற்றும் பிற தனிப்பயன் வடிவங்கள்.
  • தானியங்கி செதில் கையாளுதல் 300 மிமீ மற்றும் விருப்பமான 200 மிமீ செதில்களுக்கான வேகமான, ஹேண்ட்ஸ் ஃப்ரீ, கணினி கையாளுதலை வழங்குகிறது.
  • CE மார்க், SEMI S2, S8, S14 இணக்கம், SEMI M52, SEMI M53 மற்றும் SEMI M58 தரநிலைகள் இணக்கம்
  • முழு செதில் வைப்பு, ஸ்பாட் மற்றும் ரிங் வேஃபர் வைப்புக்கள் எந்த இடத்திலும் செதில்.
  • 50 வெவ்வேறு பிஎஸ்எல் அளவுகள் அல்லது செயல்முறை துகள் அளவுகள் வரை பயனுள்ள மற்றும் விரைவான படிவுக்கான பன்னிரண்டு துகள் மூலங்கள்
  • பிஎஸ்எல் கோளத்தை அனுமதிக்கும் உயர் உணர்திறன் மற்றும் 20nm இலிருந்து 1um வரை துகள் படிவு அல்லது செயல்முறை விருப்பமாக
  • துப்புரவு மற்றும் செதில் மேற்பரப்புக்கு இடையில் யதார்த்தமான ஒட்டுதலை வழங்குவதற்காக செதில்களில் டெபாசிட் செயலாக்க துகள்கள் செயல்முறை மேம்பாடு மற்றும் துப்புரவு அமைப்பு மேம்பாடு மற்றும் செயல்திறனை அதிகரிப்பதற்காக.
  • கே.எல்.ஏ-டென்கோர், அப்ளைடு மெட்டீரியல்ஸ், டாப்கான், ஹிட்டாச்சி மற்றும் ஏ.டி.இ செதில் ஆய்வு அமைப்புகளுக்கான அளவுத்திருத்த தரங்களை உருவாக்க பி.எஸ்.எல் கோளங்களை செதில்களில் வைக்கவும்.
  • முழு வைப்பு, ஸ்பாட் வைப்பு, வில் வைப்பு மற்றும் மோதிர வைப்பு
  • 2300 NPT-2E, எட்ஜ் துகள் படிவு அமைப்பு
  • 2300 NPT-2W, WET துகள் படிவு அமைப்பு

பி.எஸ்.எல் கோளங்கள் மற்றும் செயல்முறை துகள்கள் வெற்று, பிலிம்-அடுக்கு மற்றும் வடிவமைக்கப்பட்ட செதில் செதில் மேற்பரப்பின் செல்வாக்கைப் படிக்க வைக்கவும். துகள் இடம்பெயர்வு மற்றும் WET துகள் குறைப்பு திட்டங்களுக்கு ஆதரவாக துகள் இடம்பெயர்வு ஆகியவற்றை ஆய்வு செய்ய மேற்பரப்பில் செயல்முறை துகள்கள் மற்றும் EDGE ஐ வைக்கவும்.

மாதிரி 2300 NPT-1 - ஒரு மேற்கோள் கேட்டு

KLA-Tencor SP2300, SP1, SPX செதில் ஆய்வு அமைப்புகள் போன்ற கருவிகளின் அளவு மறுமொழி வளைவுகளை அளவிடுவதற்கு பிஎஸ்எல் வேஃபர் தரநிலைகளை உருவாக்க கையேடு செதில் ஏற்றுதல் பயன்படுத்தி 200 மிமீ மற்றும் 300 மிமீ மெட்ரோலஜி பயன்பாடுகளுக்கு MODEL 1 NPT-2 ஆதரிக்கிறது; அத்துடன் டாப்கான், ஹிட்டாச்சி, ஏடிஇ மற்றும் அமட் வேஃபர் ஆய்வு அமைப்புகள். 2300 NPT-1 அமைப்பு பிஎஸ்எல் கோளம் மற்றும் செயல்முறை துகள் வைப்புகளில் எச்சம் இலவச, உண்மையான அளவுத்திருத்த அளவுகளை வழங்குகிறது. 2300 NPT-1 பற்றிய கூடுதல் விவரங்களுக்கு ஜான் டர்னருக்கு மின்னஞ்சல் அனுப்புங்கள்.

  • நிலையான 20nm முதல் 1um PSL மற்றும் துகள் வேஃபர் படிவு
  • PEEK செதில் தொடர்பு ஊசிகளில் நிலையான கையேடு செதில் ஏற்றுதல்
  • விருப்பமான 2nd ஆண்டு உத்தரவாதம், தடுப்பு பராமரிப்பு திட்டங்கள்

மாதிரி 2300 எக்ஸ்பி 1
- ஒரு மேற்கோள் கேட்டு

MODEL 2300 XP1 KLA-Tencor 6200 தொடர், 6400 தொடர், SP1-TBI, பழைய டாப்கான், ஹிட்டாச்சி மற்றும் ADE வேஃபர் ஆய்வு அமைப்புகளை ஆதரிக்கிறது.

  • நிலையான 80nm முதல் 1um PSL மற்றும் துகள் வேஃபர் படிவு, 150mm, 200mm, 300mm க்கான கையேடு சுமை;
  • விருப்பமான 50nm குறைந்த உணர்திறன், 2nd ஆண்டு உத்தரவாதம், தடுப்பு பராமரிப்பு திட்டங்கள்
மொழிபெயர் "