தயாரிப்புகள் தேடல்
தயாரிப்பு பிரிவுகள்

துகள் அளவு தரநிலைகள் மற்றும் பாலிஸ்டிரீன் மைக்ரோஸ்பியர் மணிகள்

பி.எஸ்.எல் கோளங்கள் மற்றும் பாலிஸ்டிரீன் லேடக்ஸ் மணிகள் ஆகியவை லேசர் துகள் கவுண்டர்கள் மற்றும் ஹெப்பா வடிகட்டி சோதனைகளின் அளவுத்திருத்தத்திற்கு பயன்படுத்தப்படும் துகள் அளவு தரமாகும்.

பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ் கோளங்கள் என்ஐஎஸ்டி கண்டுபிடிக்கக்கூடியவை, எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ் நானோமீட்டர்கள் முதல் எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ் மைக்ரான் வரையிலான அளவிலான துகள் அளவு தரநிலைகள்; இவை ஒரு மோனோடிஸ்பெர்ஸ் துகள் அளவு விநியோகத்துடன் மிகவும் துல்லியமானவை, ஒரு DI நீர் கரைசலில் இடைநிறுத்தப்படுவதைக் குறைக்க ஒரு சுவடு மேற்பரப்புடன் இடைநீக்கம் செய்யப்படுகின்றன. லேசர் துகள் கவுண்டர்களின் அளவு துல்லியத்தை சவால் செய்ய அல்லது பி.எஸ்.எல் வேஃபர் தரங்களை உருவாக்க ஒரு துகள் ஏரோசோலை உருவாக்க பாலிஸ்டிரீன் லேடக்ஸ் மணிகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

விளக்கம்

பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ் மணிகள், பி.எஸ்.எல் கோளங்கள்

பி.எஸ்.எல் கோளங்கள், பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ் மணிகள், துகள் அளவு தரநிலைகள்

பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ் மணிகள்

Applied Physics ஏரோசல் கருவி அளவுத்திருத்தத்திற்கான துகள் அளவு தரங்களாக PSL கோளங்கள் மற்றும் பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ் மணிகளை வழங்குகிறது. KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE மற்றும் Hitachi போன்ற வேஃபர் ஆய்வுக் கருவிகளுக்கும் அளவு அளவுத்திருத்தம் தேவைப்படுகிறது, இது பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ் கோளங்களைப் பயன்படுத்துவதன் மூலம் நிறைவேற்றப்படுகிறது. PSL கோளங்கள், பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ் மணிகள், அந்தந்த செதில் ஆய்வு அமைப்புகள் மற்றும் லேசர் துகள் கவுண்டர்களின் அளவு மறுமொழி வளைவுகளை அளவீடு செய்ய 20nm முதல் 10 மைக்ரான் வரையிலான அளவுகளில் வழங்கப்படுகின்றன. 20nm முதல் 5 மைக்ரான்கள் வரையிலான PSL கோளங்கள் பொதுவாக லேசர் துகள் கவுண்டர்களின் அளவு பதிலை அளவீடு செய்யப் பயன்படுகின்றன. பிஎஸ்எல் கோளங்கள் பிஎஸ்எல் வேஃபர் தரநிலைகள் மற்றும் துகள் வேஃபர் தரநிலைகளை உருவாக்கப் பயன்படுகின்றன, அவை கேஎல்ஏ-டென்கோர் சர்ப்ஸ்கான் கருவிகள் மற்றும் பழைய டென்கோர் சர்ப்ஸ்கான் கருவிகளின் அளவு பதிலை அளவீடு செய்யப் பயன்படுகின்றன.

பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ் மணிகளை விசா அல்லது மாஸ்டர்கார்டு, அழைப்பைப் பயன்படுத்தி ஆர்டர் செய்யலாம் Applied Physics (719) 428-4042.

ஸ்கேனிங் சர்ஃபேஸ் இன்ஸ்பெக்ஷன் சிஸ்டம்ஸ், எஸ்எஸ்ஐஎஸ் என குறிப்பிடப்படும் வேஃபர் இன்ஸ்பெக்ஷன் சிஸ்டம்ஸ், குறிப்பாக கேஎல்ஏ-டென்கோர் மற்றும் ஹிட்டாச்சியில் இருந்து, பிஎஸ்எல் வேஃபர் தரநிலைகளைப் பயன்படுத்தி அளவீடு செய்யப்படுகிறது, அவை குறிப்பிட்ட அளவுகள் மற்றும் குறுகிய அளவிலான விநியோகத்தில் பிஎஸ்எல் கோளங்களுடன் டெபாசிட் செய்யப்பட்ட பிரைம் சிலிக்கான் செதில்களாகும். 300 மிமீ, 200 மிமீ, 150 மிமீ செதில் மேற்பரப்புகளின் தூய்மையை ஆய்வு செய்ய செதில் ஆய்வு கருவிகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன; வெற்று சிலிக்கான் அல்லது படம் டெபாசிட், செதில் மேற்பரப்பு. SSIS ஆனது PSL கோளங்கள் மற்றும் துகள்களின் X/Y இருப்பிடத்தை அடையாளம் காண முடியும், ஒவ்வொரு குறைபாட்டின் அளவையும் விவரிக்கிறது மற்றும் செதில் மேற்பரப்பில் ஒட்டுமொத்த துகள் எண்ணிக்கையை சுருக்கமாகக் கூறுகிறது. டென்கோர் 6200, 6420 மற்றும் கேஎல்ஏ-டென்கோர் எஸ்பி1, கேஎல்ஏ-டென்கோர் எஸ்பி2 மற்றும் கேஎல்ஏ-டென்கோர் எஸ்பி3 போன்ற கேஎல்ஏ-டென்கோர் வேஃபர் இன்ஸ்பெக்ஷன் சிஸ்டம்ஸ், செமிகண்டக்டர் துறையில் பயன்படுத்தப்படுகிறது. டாப்கான் 3000, 5000 மற்றும் 7000 தொடர் வேஃபர் ஆய்வு அமைப்புகளைக் கொண்டுள்ளது. Estek, ADE, Aeronca மற்றும் Hitachi ஆகியவை பல்வேறு செதில் ஆய்வு அமைப்புகளையும் வழங்குகின்றன. இன்று உற்பத்தி செய்யப்படும் ஒவ்வொரு SSISம் இப்போது 30nm அல்லது சிறந்த துகள் அளவு உணர்திறனைக் கண்டறிய முடிகிறது. பிஎஸ்எல் கோளங்கள் செதில் மேற்பரப்பில் துகள் அளவு தரநிலைகளை பிரதிநிதித்துவப்படுத்த பயன்படுத்தப்படுகின்றன. Applied Physics அளவு அளவுத்திருத்தம், HEPA வடிகட்டி சோதனைகள் போன்றவற்றிற்காக 20 nm முதல் 160 மைக்ரான் வரை PSL கோள அளவுகளை வழங்குகிறது. PSL கோளங்களை அழைப்பதன் மூலம் ஆர்டர் செய்யலாம் Applied Physics (719) 428-4042.

பி.எஸ்.எல் வேஃபர் டெபாசிட் சிஸ்டங்களுடன் பி.எஸ்.எல் கோளங்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இது பி.எஸ்.எல் வேஃபர் தரநிலைகளை உருவாக்குகிறது, இது துகள் வேஃபர் தரநிலைகள் என்றும் குறிப்பிடப்படுகிறது. இரண்டிலும், பி.எஸ்.எல் வேஃபர் தரநிலை தயாரிக்கப்பட்ட பிறகு, அது ஒரு செதில் ஆய்வு அமைப்பில் வைக்கப்பட்டு ஒற்றை லேசர் எஸ்.எஸ்.ஐ.எஸ் அல்லது இரட்டை லேசர் எஸ்.எஸ்.ஐ.எஸ் மூலம் ஸ்கேன் செய்யப்படுகிறது. உண்மையான பிஎஸ்எல் அளவு பதில் SSIS அளவு பதிலுடன் ஒப்பிடப்படுகிறது. இரண்டு சிகரங்களும் பொருந்தவில்லை என்றால், SSIS அளவீடு செய்யப்பட வேண்டும்.

முன் கலப்பு, அதிக செறிவுள்ள பி.எஸ்.எல் கோளங்கள் 2300XP1 அமைப்புகள், 2300 NPT-1 அமைப்புகள், 2300NPT-2 மற்றும் M2300G3 செதில் படிவு அமைப்புகளுக்கானவை.

கலக்காத பி.எஸ்.எல் கோளங்கள், பொதுவாக 1% செறிவில்.

முன் கலந்த பிஎஸ்எல் கோளங்கள் ஒரு எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்எம்எல் பாட்டில் வந்து, மோனோ-சிதறல் அளவு (எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ் அளவு விநியோகம்), மற்றும் அவை எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்என்எம் முதல் எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்என்எம் அளவு வரை வழங்கப்படுகின்றன. இந்த பி.எஸ்.எல் தீர்வு நேரடியாக நெபுலைசர் அல்லது அணுக்கருவி பாத்திரத்தில் ஊற்றப்படுகிறது. பாலிஸ்டிரீன் லேடக்ஸ் மணிகளை வாங்குவதற்கான ஒரு வசதியான வழி முன் கலப்பு ஆகும், ஏனெனில் அனைத்து நீர்த்தங்களும் மிகவும் சீரான முறையில் நிறைவேற்றப்பட்டுள்ளன, எந்தவிதமான சலசலப்பும் இல்லை, வம்புகளும் இல்லை, பாலிஸ்டிரீன் லேடக்ஸ் மணிகளை பீக்கர்களைப் பயன்படுத்தி கலக்க வேண்டாம் என்று பயனரை அனுமதிக்கிறது, DI நீர் மற்றும் மீயொலி தட்டுக்கள். கலக்காத பிஎஸ்எல் பொருள் ஒரு எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்எம்எல் பாட்டில் வழங்கப்படுகிறது, மோனோ-சிதறல் அளவு (எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ் அளவு விநியோகம்) மற்றும் பொதுவாக எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்% செறிவில் வழங்கப்படுகிறது. இந்த பி.எஸ்.எல் கோளங்கள் பரந்த அளவிலான அளவுகளில் வழங்கப்படுகின்றன, ஆனால் எங்கள் நோக்கங்களுக்காக, 50nm முதல் 1um வரை அளவு. பி.எஸ்.எல் பொருள் சரியான நீர்த்தலுடன் கலக்கப்பட வேண்டும் அல்லது மேலே உள்ள பி.எஸ்.எல் வேஃபர் டெபாசிட் சிஸ்டங்களில் ஒன்றின் மூலம் டெபாசிட் செய்ய முயற்சிக்கும்போது பயனுள்ள முடிவுகளை வழங்க இது செறிவூட்டப்பட்டதாகவோ அல்லது பலவீனமாகவோ இருக்கும்.

துகள் அளவு தரநிலைகள் மற்றும் பாலிஸ்டிரீன் மைக்ரோஸ்பியர் லேடெக்ஸ் மணிகள் இருந்து Applied Physics Inc. துகள் அளவு தரநிலைகள் மற்றும் பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ் மணிகள் இருந்து Applied Physics இன்க்

மொழிபெயர் "