சர்ப்-கால் பிஎஸ்எல் கோளங்கள், முன் கலப்பு, எஸ்எஸ்ஐஎஸ் அளவு அளவுத்திருத்தம்
பி.எஸ்.எல் கோளங்கள், பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ், சர்ப்-கால் துகள் அளவு தரநிலைகள்
SURF-CAL பிஎஸ்எல் கோளங்கள் ஒரு எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்எம்எல் பாட்டில் முன் கலப்பு பிஎஸ்எல் கோளங்களை வழங்குவதன் மூலம் உங்கள் வசதியில் அளவுத்திருத்த செதில்களைத் தயாரிக்கும் வேலையை எளிதாக்குகிறது. துகள் அளவுகள் கருவி உற்பத்தியாளர்களுக்குத் தேவையான அளவுத்திருத்த புள்ளி அளவுகளுடன் ஒத்திருக்கும். துகள் செறிவுகள் ஒரு எம்.எல் க்கு 50 x 1 e10 துகள்கள். செமி தயாரிப்பாளர்கள் ஸ்கேனிங் மேற்பரப்பு ஆய்வு முறைகளை அளவீடு செய்யும் போது குறிப்பிட்ட துகள் அளவுகளைப் பயன்படுத்த வேண்டும் என்று கோரியுள்ளனர், இது செதில் ஆய்வு கருவிகளுக்கும் குறிப்பிடப்படுகிறது. கருவி உற்பத்தியாளர்களுடன் பணிபுரிதல் SURF-CAL PSL கோளங்கள் SEMI தரநிலை M10 (52) மற்றும் M3 வழிகாட்டுதல்களை பூர்த்தி செய்கின்றன. கிடைக்கக்கூடிய அளவுகள் குறைக்கடத்திகள், ஐடிஆர்எஸ் (எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்) க்கான சர்வதேச தொழில்நுட்ப சாலை வரைபடத்தால் வரையறுக்கப்பட்டுள்ள முக்கியமான அளவு முனைகளாகும்.
வெற்று சிலிக்கான் மற்றும் பேட்டர்ன் செதில்களில் SURF-CAL, NIST கண்டுபிடிக்கக்கூடிய பி.எஸ்.எல் (பாலிஸ்டிரீன் லேடக்ஸ்) கோளங்களை வைப்பதன் மூலம், உங்கள் KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS கருவிகளில் அவ்வப்போது அளவு அளவுத்திருத்த சோதனைகளைச் செய்யலாம் மற்றும் ஸ்கேனர்களுடன் உங்கள் செதில் ஆய்வு ஸ்கேனரை ஒப்பிடலாம். பிற இடங்கள். உற்பத்தி செயல்பாட்டின் முக்கியமான கட்டங்களில் உங்கள் SSIS இன் செயல்திறனை மதிப்பீடு செய்யலாம்.
அனைத்து தயாரிப்புகளும் எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ் எம்எல் பாட்டில்களில் டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட, வடிகட்டப்பட்ட நீரில் (டிஐ நீர்) ஒரு எம்.எல். இந்த பி.எஸ்.எல் கோளங்கள் வேறுபட்ட இயக்கம் அனலைசர் (டி.எம்.ஏ) அல்லது பிற அளவு விலக்கு நுட்பங்களால் அளவிடப்பட்டுள்ளன.
அளவீட்டு முறை:
என்ஐஎஸ்டி கண்டுபிடிக்கும் தன்மையை உறுதிப்படுத்த, இந்த தயாரிப்புகளின் சான்றளிக்கப்பட்ட விட்டம் என்ஐஎஸ்டி நிலையான குறிப்பு பொருட்களிலிருந்து (2) டிரான்ஸ்மிஷன் எலக்ட்ரான் அல்லது ஆப்டிகல் மைக்ரோஸ்கோபி மூலம் மாற்றப்பட்டது. என்ஐஎஸ்டி தொழில்நுட்ப குறிப்பு 1297, 1994 பதிப்பைப் பயன்படுத்தி நிச்சயமற்ற தன்மை கணக்கிடப்பட்டது “என்ஐஎஸ்டி அளவீட்டு முடிவுகளின் நிச்சயமற்ற தன்மையை மதிப்பிடுவதற்கும் வெளிப்படுத்துவதற்கும் வழிகாட்டுதல்கள்” (4). பட்டியலிடப்பட்ட நிச்சயமற்ற தன்மை இரண்டு (K = 2) கவரேஜ் காரணியுடன் விரிவாக்கப்பட்ட நிச்சயமற்ற தன்மை ஆகும். துகள் அளவு விநியோகத்தின் தோராயமாக ± 2 கள் வரம்பைப் பயன்படுத்தி உச்ச விட்டம் கணக்கிடப்பட்டது. அளவு விநியோகம் முழு உச்சத்தின் நிலையான விலகலாக (எஸ்.டி.எஸ்) கணக்கிடப்பட்டது. மாறுபாட்டின் குணகம் (சி.வி) என்பது உச்ச விட்டம் ஒரு சதவீதமாக வெளிப்படுத்தப்படும் ஒரு நிலையான விலகலாகும். எஃப்.டபிள்யூ.எச்.எம் (அரை அகலத்தில் முழு அகலம்) விநியோகம் உச்ச உயரத்தின் பாதியில் விநியோகம் உச்ச விட்டம் சதவீதமாக வெளிப்படுத்தப்பட்டது.
1. “குறைக்கடத்திகளுக்கான தேசிய தொழில்நுட்ப சாலை வரைபடம்”, குறைக்கடத்தி தொழில் சங்கம் (1999)
2. எஸ்.டி.
3. SEMI M52 - சிலிக்கான் வேஃபர்களுக்கான மேற்பரப்பு ஆய்வு அமைப்புகளைக் குறிப்பிடுவதற்கான வழிகாட்டி 130 nm தொழில்நுட்ப தலைமுறை.
4. பாரி என். டெய்லர் மற்றும் கிறிஸ் ஈ. குயாட், “என்ஐஎஸ்டி அளவீட்டு முடிவுகளின் நிச்சயமற்ற தன்மையை மதிப்பிடுவதற்கும் வெளிப்படுத்துவதற்கும் வழிகாட்டுதல்கள்”. என்ஐஎஸ்டி தொழில்நுட்ப குறிப்பு 1297, 1994 பதிப்பு, செப்டம்பர் 1994.
துகள் கலவை | பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ், பி.எஸ்.எல் கோளங்கள் |
செறிவு | 3 x 1010 ஒரு எம்.எல் |
துகள் அடர்த்தி | 1.05 g / cm³ |
ஒளிவிலகல் | 1.59 @ 589nm (25 ° C) |
தொகுதி நிரப்பவும் | 50 mL |
உள்ளடக்க | டி-அயனியாக்கம் செய்யப்பட்ட, வடிகட்டப்பட்ட நீரில் பாலிஸ்டிரீன் மைக்ரோஸ்பியர்ஸ் |
காலாவதி தேதி | ≤ 12 மாதங்கள் |
பி.எஸ்.எல் கோளங்கள், SURF-CAL துகள் அளவு தரநிலைகள் | ||||
தயாரிப்பு பகுதி # | சான்றளிக்கப்பட்ட உச்ச விட்டம் | நியமச்சாய்வு | சி.வி மற்றும் எஃப்.டபிள்யூ.எச்.எம் | ஒரு எம்.எல் |
AP PD-047B | 47 நா.மீ | 4 நா.மீ | 7.5%, 17.4% | 1 x 10 e10 |
AP PD-064B | 64 நா.மீ | 3 நா.மீ | 5.4%, 10.9% | 1 x 10 e10 |
AP PD-070B | 72 நா.மீ | 5 நா.மீ | 7.2%, 16.2% | 1 x 10 e10 |
AP PD-080B | 80 நா.மீ | 6 நா.மீ | 7.0%, 12.8% | 1 x 10 e10 |
AP PD-083B | 83 நா.மீ | 4 நா.மீ | 4.2%. 9.6% | 1 x 10 e10 |
AP PD-090B | 89 நா.மீ | 5 நா.மீ | 5.7%, 9.6% | 1 x 10 e10 |
AP PD-092B | 92 நா.மீ | 4 நா.மீ | 4.6%, 9.1% | 1 x 10 e10 |
AP PD-100B | 100 நா.மீ | 3 நா.மீ | 2.6%, 5.2% | 1 x 10 e10 |
AP PD-110B | 114 நா.மீ | 4 நா.மீ | 3.3%, 6.3% | 1 x 10 e10 |
AP PD-125B | 126 நா.மீ | 3 நா.மீ | 2.4%, 4.8% | 1 x 10 e10 |
AP PD-155B | 155 நா.மீ | 3 நா.மீ | 1.6%, 3.7% | 1 x 10 e10 |
AP PD-180B | 184 நா.மீ | 4 நா.மீ | 2.2%, 3.9% | 1 x 10 e10 |
AP PD-200B | 202 நா.மீ | 4 நா.மீ | 1.8%, 4.0% | 1 x 10 e10 |
AP PD-204B | 204 நா.மீ | 4 நா.மீ | 1.8%, 3.7% | 1 x 10 e10 |
AP PD-215B | 220 நா.மீ | 3 நா.மீ | 1.6%, 3.3% | 1 x 10 e10 |
AP PD-305B | 304 நா.மீ | 4 நா.மீ | 1.4%, 3.4% | 1 x 10 e10 |
AP PD-365B | 360 நா.மீ | 5 நா.மீ | 1.3%, 2.8% | 1 x 10 e10 |
AP PD-500B | 498 நா.மீ | 10 நா.மீ | 2.0%, 5.0% | 1 x 10 e10 |
AP PD-800B | 809 நா.மீ | 6 நா.மீ | 0.8%, 1.8% | 1 x 10 e10 |
AP PD-802B | 802 நா.மீ | 9 நா.மீ | 1.1%, 2.4% | 1 x 10 e10 |
AP PD-1100B | 1.112 μm | 11 நா.மீ | 1.0%, 2.5% | 1 x 10 e10 |