சிலிக்கா துகள் செதில் தரநிலைகள், சிலிக்கா துகள் அளவு தரநிலைகள்

சிலிக்கா துகள் செதில் தரநிலைகள், சிலிக்கா துகள் அளவு தரநிலைகள்

சிலிக்கா துகள் அளவு தரநிலைகள் இன்றைய செமிகண்டக்டர் மெட்ராலஜி ஆய்வகங்களில், 200 மிமீ மற்றும் 300 மிமீ சிலிக்கான் செதில்களை ஸ்கேன் செய்ய உயர் ஆற்றல் கொண்ட லேசர்களைப் பயன்படுத்தி <30 நானோமீட்டர்கள் வரை மேற்பரப்புத் துகள்களைக் கண்டறியலாம். உயர் லேசர் பவர் ஸ்கேனிங்கை அளவீடு செய்யும் போது...
மொழிபெயர் "