பி.எஸ்.எல் அளவுத்திருத்த வேஃபர் தரநிலை, சிலிக்கா மாசுபடுத்தல் வேஃபர் தரநிலை
துகள் படிவு கருவிகள் பல துல்லியமான பி.எஸ்.எல் அளவு தரத்தை அல்லது சிலிக்கா துகள் அளவு தரத்தை செதில் தரத்தில் டெபாசிட் செய்ய பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
- பி.எஸ்.எல் அளவுத்திருத்த வேஃபர் தரநிலைகள் செதில்களை ஸ்கேன் செய்ய குறைந்த ஆற்றல் கொண்ட லேசரைப் பயன்படுத்தி செதில் ஆய்வு முறைகளை அளவீடு செய்வதற்கான தரநிலை.
- சிலிக்கா மாசுபடுத்தல் செதில் செதில்களை ஸ்கேன் செய்ய உயர் ஆற்றல்மிக்க லேசரைப் பயன்படுத்தி செதில் ஆய்வு முறைகளை அளவீடு செய்வதற்கான தரநிலை.
அளவுத்திருத்த மாஸ்க் தரநிலை அல்லது சிலிக்கா மாஸ்க் தரநிலை
எங்களின் 2300 XP1 டெபாசிட்கள் NIST டிரேசபிள், போரோசிலிகேட் முகமூடிகள் மற்றும் 75 மிமீ முதல் 300 மிமீ செதில் விட்டம் வரையிலான பிரைம் சிலிக்கானில் சான்றளிக்கப்பட்ட மாஸ்க் தரநிலைகள்.
- 125 மிமீ மற்றும் 150 மிமீ முகமூடிகளில் பிஎஸ்எல் அளவுத்திருத்த மாஸ்க் தரநிலை
- 150mm முகமூடிகளில் சிலிக்கா மாசுபடுத்தும் தரநிலை
- 75 மிமீ முதல் 300 மிமீ அளவுத்திருத்த செதில் தரநிலைகள்
- 75மிமீ முதல் 300மிமீ வரை சிலிக்கா மாசுபடுதல் வேஃபர் தரநிலைகள்
அளவுத்திருத்த வேஃபர் தரநிலை - ஒரு மேற்கோள் கேட்டு
மாசுபடுத்தல் வேஃபர் தரநிலைகள், அளவுத்திருத்த வேஃபர் தரநிலைகள் மற்றும் சிலிக்கா துகள் வேஃபர் தரநிலைகள் ஒரு துகள் படிவு அமைப்புடன் தயாரிக்கப்படுகின்றன, இது முதலில் ஒரு பிஎஸ்எல் அளவு உச்சம் அல்லது சிலிக்கா அளவு உச்சநிலையை டிஃபெரன்ஷியல் மொபிலிட்டி அனலைசர் (டிஎம்ஏ) மூலம் பகுப்பாய்வு செய்யும். டிஎம்ஏ என்பது மிகவும் துல்லியமான துகள் ஸ்கேனிங் கருவியாகும், இது என்ஐஎஸ்டி டிரேசபிள் துகள் அளவு அளவுத்திருத்தத்தின் அடிப்படையில் மிகவும் துல்லியமான அளவு உச்சத்தை தனிமைப்படுத்துவதற்கு ஒடுக்க துகள் கவுண்டர் மற்றும் கணினி கட்டுப்பாட்டுடன் இணைந்துள்ளது. அளவு உச்சம் சரிபார்க்கப்பட்டதும், துகள் அளவு ஸ்ட்ரீம் பிரைம் சிலிக்கான், செதில் நிலையான மேற்பரப்புக்கு அனுப்பப்படுகிறது. துகள்கள் செதில் மேற்பரப்பில் வைப்பதற்கு சற்று முன்பு கணக்கிடப்படுகின்றன, பொதுவாக செதில் முழுவதும் முழு படிவு. மாற்றாக, 8 துகள் அளவுகள் வரை செதில்களைச் சுற்றியுள்ள குறிப்பிட்ட இடங்களில் ஸ்பாட் படிவுகளாக டெபாசிட் செய்யலாம். கேஎல்ஏ-டென்கோர் சர்ப்ஸ்கான் எஸ்பி1, கேஎல்ஏ-டென்கோர் சர்ப்ஸ்கான் எஸ்பி2, கேஎல்ஏ-டென்கோர் சர்ப்ஸ்கான் எஸ்பி3, கேஎல்ஏ-டென்கோர் சர்ப்ஸ்கான் எஸ்பி5, சர்ப்ஸ்கான் எஸ்பிஎக்ஸ், டென்கோர் 6420, டென்கோர் 6220, Tencor 6200, Tencor ஹிட்டாச்சி மற்றும் டாப்கான் SSIS கருவிகள் மற்றும் செதில் ஆய்வு அமைப்புகள்.
Applied Physics அமெரிக்கா
வேறுபட்ட மொபிலிட்டி அனலைசர், டிஎம்ஏ மின்னழுத்த ஸ்கேன், சிலிக்கா சைஸ் பீக், எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்என்எம்
Applied Physics அமெரிக்கா |
உண்மையான அளவு உச்சத்தை தீர்மானிக்க பி.எஸ்.எல் கோளங்களின் அளவு தரங்களும் சிலிக்கா அளவு தரங்களும் வேறுபட்ட இயக்கம் பகுப்பாய்வி மூலம் ஸ்கேன் செய்யப்படுகின்றன. அளவு உச்சநிலை பகுப்பாய்வு செய்யப்பட்டவுடன், செதில் தரத்தை முழு படிவு அல்லது ஸ்பாட் டெபாசிட் அல்லது பல ஸ்பாட் டெபாசிட் செதில் தரங்களாக டெபாசிட் செய்யலாம். 100 நானோ மீட்டரில் (0.1 மைக்ரான்) சிலிக்கா அளவு உச்சம் மேலே ஸ்கேன் செய்யப்பட்டு, DNA 101nm இல் உண்மையான சிலிக்கா அளவு உச்சத்தைக் கண்டறிகிறது.
முழு படிவு அல்லது ஸ்பாட் டெபாசிட் வேஃபர் தரநிலைகள் - ஒரு துகள் படிவு அமைப்பு மிகவும் துல்லியமான, பிஎஸ்எல் அளவுத்திருத்த வேஃபர் தரநிலைகள் மற்றும் சிலிக்கா மாசுபடுத்தல் வேஃபர் தரநிலைகளை வழங்குகிறது.
எங்கள் 2300 XP1 துகள் படிவு அமைப்பு உங்கள் பிஎஸ்எல் வேஃபர் தரநிலைகள் மற்றும் சிலிக்கா வேஃபர் தரநிலைகளை உருவாக்க தானியங்கி துகள் படிவு கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது.
துகள் படிவு பயன்பாடுகள்
- உயர் தெளிவுத்திறன், என்ஐஎஸ்டி கண்டுபிடிக்கக்கூடிய டிஎம்ஏ (வேறுபட்ட இயக்கம் பகுப்பாய்வி) அளவு மற்றும் வகைப்பாடு பிஎஸ்எல் அளவு துல்லியம் மற்றும் அளவு விநியோக அகலத்திற்கான புதிய செமி தரநிலைகள் M52, M53 மற்றும் M58 நெறிமுறையை மீறுகின்றன.
- 60nm, 100nm, 269nm மற்றும் 900nm இல் தானியங்கி படிவு அளவு அளவுத்திருத்தம்
- மேம்பட்ட கணினி நிலைத்தன்மை மற்றும் அளவீட்டு துல்லியத்திற்கான தானியங்கி வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தம் இழப்பீட்டைக் கொண்ட மேம்பட்ட வேறுபாடு மொபிலிட்டி அனலைசர் (டிஎம்ஏ) தொழில்நுட்பம்
- தானியங்கி படிவு செயல்முறை ஒரு செதில் பல இட படிவுகளை வழங்குகிறது
- செதில் முழுவதும் முழு செதில் வைப்பு; அல்லது செதில் எந்த இடத்திலும் ஸ்பாட் டெபாசிட்கள்
- பிஎஸ்எல் கோளம் மற்றும் சிலிக்கா துகள் படிவு ஆகியவற்றை 20nm இலிருந்து 2um வரை அனுமதிக்கும் உயர் உணர்திறன்
- அதிக சக்தி வாய்ந்த லேசர் ஸ்கேனிங்கைப் பயன்படுத்தி உங்கள் செதில் ஆய்வு அமைப்புகளின் அளவுத்திருத்தத்திற்காக சிலிக்கா துகள்களை வைக்கவும்
- குறைந்த ஆற்றல் கொண்ட லேசர் ஸ்கேனிங்கைப் பயன்படுத்தி உங்கள் செதில் ஆய்வு அமைப்புகளின் அளவுத்திருத்தத்திற்காக பி.எஸ்.எல் கோளங்களை டெபாசிட் செய்யுங்கள்
பிஎஸ்எல் கோளங்கள் மற்றும் சிலிக்கா துகள்களை பிரதான சிலிக்கான் செதில் தரங்களில் அல்லது உங்கள் 150mm புகைப்பட முகமூடிகளில் வைக்கவும்.
