துகள் செதில் தரநிலைகள்

பி.எஸ்.எல் வேஃபர் தரநிலைகள் மற்றும் சிலிக்கா துகள் வேஃபர் தரநிலைகள் ஒரு துகள் படிவு அமைப்புடன் தயாரிக்கப்படுகின்றன, இது முதலில் ஒரு பி.எஸ்.எல் அளவு உச்சத்தை அல்லது சிலிக்கா அளவு உச்சத்தை ஒரு மாறுபட்ட இயக்கம் பகுப்பாய்வி (டி.எம்.ஏ) மூலம் பகுப்பாய்வு செய்யும். டி.எம்.ஏ என்பது மிகவும் துல்லியமான துகள் ஸ்கேனிங் கருவியாகும், இது மின்தேக்கி துகள் கவுண்டர் மற்றும் கணினி கட்டுப்பாட்டுடன் இணைந்து மிகவும் துல்லியமான அளவு உச்சத்தை தனிமைப்படுத்துகிறது, இது என்ஐஎஸ்டி கண்டுபிடிக்கக்கூடிய துகள் அளவு அளவுத்திருத்தத்தின் அடிப்படையில். அளவு உச்சநிலை சரிபார்க்கப்பட்டவுடன், துகள் அளவு நீரோடை பிரதான சிலிக்கான், செதில் நிலையான மேற்பரப்புக்கு இயக்கப்படுகிறது; இது செதிலின் குறுக்கே ஒரு முழு படிவில் டெபாசிட் செய்யப்படுவதால் அல்லது செதிலைச் சுற்றியுள்ள குறிப்பிட்ட இடங்களில் ஸ்பாட் டெபாசிட்டாகக் கணக்கிடப்படுகிறது. KLA-Tencor Surfscan SP1, KLA-Tencor Surfscan SP2, KLA-Tencor Surfscan SP3, KLA-Tencor Surfscan SP5, Surfscan SPx, Tencor 6420, Tencor 6220, Tencor 6200, ADE மற்றும் டாப்கான் எஸ்எஸ்ஐஎஸ் கருவிகள் மற்றும் செதில் ஆய்வு அமைப்புகள். - 2300 எக்ஸ்பி 1 துகள் படிவு அமைப்பு பிஎஸ்எல் கோளங்கள் அல்லது சிலிக்கா துகள்களைப் பயன்படுத்தி 150 மிமீ, 200 மிமீ மற்றும் 300 மிமீ செதில்களில் 30nm முதல் 2um வரை டெபாசிட் செய்யலாம்.

வேறுபட்ட மொபிலிட்டி அனலைசர், டிஎம்ஏ மின்னழுத்த ஸ்கேன், சிலிக்கா சைஸ் பீக், எக்ஸ்என்யூஎம்எக்ஸ்என்எம்
வேறுபட்ட மொபிலிட்டி அனலைசர், டி.எம்.ஏ மின்னழுத்தம், சிலிக்கா அளவு உச்சம் 100nm இல்
உண்மையான அளவு உச்சத்தை தீர்மானிக்க பி.எஸ்.எல் கோளங்களின் அளவு தரங்களும் சிலிக்கா அளவு தரங்களும் வேறுபட்ட இயக்கம் பகுப்பாய்வி மூலம் ஸ்கேன் செய்யப்படுகின்றன. அளவு உச்சநிலை பகுப்பாய்வு செய்யப்பட்டவுடன், செதில் தரத்தை முழு படிவு அல்லது ஸ்பாட் டெபாசிட் அல்லது பல ஸ்பாட் டெபாசிட் செதில் தரங்களாக டெபாசிட் செய்யலாம். 100 நானோ மீட்டரில் (0.1 மைக்ரான்) சிலிக்கா அளவு உச்சம் மேலே ஸ்கேன் செய்யப்பட்டு, DNA 101nm இல் உண்மையான சிலிக்கா அளவு உச்சத்தைக் கண்டறிகிறது.

முழு படிவு அல்லது ஸ்பாட் டெபாசிட் வேஃபர் தரநிலைகள்

ஒரு கோரிக்கையை கோருங்கள்
ஒரு துகள் படிவு அமைப்பு மிகவும் துல்லியமான, பிஎஸ்எல் அளவுத்திருத்த வேஃபர் தரநிலைகள் மற்றும் சிலிக்கா மாசுபடுத்தல் வேஃபர் தரநிலைகளை வழங்குகிறது.

எங்கள் 2300 XP1 துகள் படிவு அமைப்பு உங்கள் பிஎஸ்எல் வேஃபர் தரநிலைகள் மற்றும் சிலிக்கா வேஃபர் தரநிலைகளை உருவாக்க தானியங்கி துகள் படிவு கட்டுப்பாட்டை வழங்குகிறது.

துகள் படிவு பயன்பாடுகள்
உயர் தெளிவுத்திறன், என்ஐஎஸ்டி கண்டுபிடிக்கக்கூடிய டிஎம்ஏ (வேறுபட்ட இயக்கம் பகுப்பாய்வி) அளவு மற்றும் வகைப்பாடு பிஎஸ்எல் அளவு துல்லியம் மற்றும் அளவு விநியோக அகலத்திற்கான புதிய செமி தரநிலைகள் M52, M53 மற்றும் M58 நெறிமுறையை மீறுகின்றன.
60nm, 100nm, 269nm மற்றும் 900nm இல் தானியங்கி படிவு அளவு அளவுத்திருத்தம்
மேம்பட்ட கணினி நிலைத்தன்மை மற்றும் அளவீட்டு துல்லியத்திற்கான தானியங்கி வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தம் இழப்பீட்டைக் கொண்ட மேம்பட்ட வேறுபாடு மொபிலிட்டி அனலைசர் (டிஎம்ஏ) தொழில்நுட்பம்
தானியங்கி படிவு செயல்முறை ஒரு செதில் பல இட படிவுகளை வழங்குகிறது
செதில் முழுவதும் முழு செதில் வைப்பு; அல்லது செதில் எந்த இடத்திலும் ஸ்பாட் டெபாசிட்கள்
பிஎஸ்எல் கோளம் மற்றும் சிலிக்கா துகள் படிவு ஆகியவற்றை 20nm இலிருந்து 2um வரை அனுமதிக்கும் உயர் உணர்திறன்
அதிக சக்தி வாய்ந்த லேசர் ஸ்கேனிங்கைப் பயன்படுத்தி உங்கள் செதில் ஆய்வு அமைப்புகளின் அளவுத்திருத்தத்திற்காக சிலிக்கா துகள்களை வைக்கவும்
குறைந்த ஆற்றல் கொண்ட லேசர் ஸ்கேனிங்கைப் பயன்படுத்தி உங்கள் செதில் ஆய்வு அமைப்புகளின் அளவுத்திருத்தத்திற்காக பி.எஸ்.எல் கோளங்களை டெபாசிட் செய்யுங்கள்
பிஎஸ்எல் கோளங்கள் மற்றும் சிலிக்கா துகள்களை பிரதான சிலிக்கான் செதில் தரங்களில் அல்லது உங்கள் 150mm புகைப்பட முகமூடிகளில் வைக்கவும்.

பி.எஸ்.எல் அளவுத்திருத்த வேஃபர் தரநிலை, சிலிக்கா மாசுபடுத்தல் வேஃபர் தரநிலை
துகள் படிவு கருவிகள் பல துல்லியமான பி.எஸ்.எல் அளவு தரத்தை அல்லது சிலிக்கா துகள் அளவு தரத்தை செதில் தரத்தில் டெபாசிட் செய்ய பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

பி.எஸ்.எல் அளவுத்திருத்த வேஃபர் தரநிலைகள் செதில்களை ஸ்கேன் செய்ய குறைந்த ஆற்றல் கொண்ட லேசரைப் பயன்படுத்தி செதில் ஆய்வு முறைகளை அளவீடு செய்வதற்கான தரநிலை.
சிலிக்கா மாசுபடுத்தல் செதில் செதில்களை ஸ்கேன் செய்ய உயர் ஆற்றல்மிக்க லேசரைப் பயன்படுத்தி செதில் ஆய்வு முறைகளை அளவீடு செய்வதற்கான தரநிலை.
அளவுத்திருத்த மாஸ்க் தரநிலை அல்லது சிலிக்கா மாஸ்க் தரநிலை
ஒரு கோரிக்கையை கோருங்கள்
எங்கள் 2300 XP1 125mm மற்றும் 150mm போரோசிலிகேட் முகமூடிகளில் NIST கண்டுபிடிக்கக்கூடிய, சான்றளிக்கப்பட்ட மாஸ்க் தரநிலைகளை வைக்கிறது.

125mm முகமூடிகளில் PSL அளவுத்திருத்த மாஸ்க் தரநிலை
150mm முகமூடிகளில் சிலிக்கா மாசுபடுத்தும் தரநிலை