சர்ஃப்-கால், துகள் அளவு தரநிலைகள், 50மிலி அளவு, 1x10E8 மற்றும் 1x10E10 செறிவு / மிலிக்கு முன் கலந்தது

SURF-CAL™ துகள் அளவு தரநிலைகள் அளவு அளவுத்திருத்தம் மற்றும் ஸ்கேனிங் சர்ஃபேஸ் இன்ஸ்பெக்ஷன் சிஸ்டம்ஸ் (SSIS) கண்காணிப்பில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. கீழே உள்ள துகள் அளவுகள் கருவி உற்பத்தியாளர்களால் தேவைப்படும் அளவுத்திருத்த துகள் அளவுகளுடன் ஒத்திருக்கும். உங்கள் செதில் ஆய்வு ஸ்கேனர் மற்ற இடங்களில் உள்ள ஸ்கேனர்களுடன் ஒப்பிடுவதை உறுதிசெய்ய, அவ்வப்போது அளவுத்திருத்த சோதனைகள் மற்றும் வாராந்திர அளவு மற்றும் எண்ணிக்கை கண்காணிப்பை நீங்கள் முடிக்க வேண்டும். அனைத்து பாலிஸ்டிரீன் மைக்ரோஸ்பியர்களும் 50மிலி பாட்டில் அளவு 3 × 10 E8 அல்லது 1 × 10 E10 துகள்கள் ஒரு mL இல் டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட, வடிகட்டிய நீரில் இடைநிறுத்தப்படுகின்றன. * உடன் குறிப்பிடப்பட்ட அளவுகள் அந்த விட்டத்தில் உள்ள NIST SRM துகள்களைப் போலவே இருக்கும். கீழே உள்ள அனைத்து பாலிஸ்டிரீன் மைக்ரோஸ்பியர்களுக்கும் ஒளிவிலகல் குறியீடு 1.59 @ 589nm (25C) ஆகும். ஒவ்வொரு பாட்டிலும் 12 மாதங்களுக்கு நிலையாக இருக்கும் மற்றும் NIST க்கு அளவுத்திருத்தம் மற்றும் கண்டறியக்கூடிய சான்றிதழுடன் தொகுக்கப்பட்டுள்ளது.

வெற்று சிலிக்கான் மற்றும் பேட்டர்ன் செதில்களில் SURF-CAL, NIST கண்டறியக்கூடிய PSL (பாலிஸ்டிரீன் லேடெக்ஸ்) கோளங்களை வைப்பதன் மூலம், உங்கள் KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS கருவிகளில் அவ்வப்போது அளவு அளவுத்திருத்தச் சோதனைகளைச் செய்யலாம் மற்றும் ஸ்கேனர்களில் உங்கள் செதில் ஆய்வு ஸ்கேனரை ஒப்பிடலாம். மற்ற இடங்கள். உற்பத்தி செயல்முறையின் முக்கியமான கட்டங்களில் உங்கள் SSIS இன் செயல்திறனையும் நீங்கள் மதிப்பிடலாம். அனைத்து தயாரிப்புகளும் 50 x3 e10 துகள்கள்/mL அல்லது 10 x1 e10 துகள்கள்/mL என்ற செறிவில் 10 மில்லி பாட்டில்களில் டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட, வடிகட்டிய நீரில் (DI வாட்டர்) இடைநிறுத்தப்படுகின்றன. இந்த சர்ஃப்-கால் துகள் அளவு தரநிலைகள் பாலிஸ்டிரீன் மைக்ரோஸ்பியர்ஸ் ஆகும், அவை டிஃபெரன்ஷியல் மொபிலிட்டி அனலைசர் (டிஎம்ஏ) அல்லது பிற அளவு விலக்கு நுட்பங்களால் அளவிடப்படுகின்றன.